Die komplizierteste Maschine der Welt: Warum niemand ASML kopieren kann

Wer verstehen will, warum die Exportkontrolle von Lithografieanlagen so wirksam ist, muss sich das Gerät selbst ansehen. Die EUV-Maschinen von ASML gelten als die kompliziertesten Industriemaschinen, die der Mensch gebaut hat. Sie sind zu einem der Hauptstreitpunkte im Chipkonflikt zwischen den Vereinigten Staaten und China geworden. Branchenberichten zufolge waren an ihrer Entwicklung viele Firmen beteiligt. Eine einzelne Maschine ist Technologie im Wert von Hunderten Millionen Dollar.

Extremes Ultraviolett und das Netz der Zulieferer

Entscheidend ist die Wellenlänge. Um Strukturen unterhalb von 5 Nanometern zu erzeugen, braucht man Licht im Bereich des extremen Ultravioletts. ASML ist das einzige Unternehmen, das solche Systeme in Serie produzieren kann. Allein wäre die Firma dazu allerdings nicht in der Lage. Ihr Vorsprung ist ein Ökosystem: Zeiss mit Optik von äußerster Reinheit und Trumpf mit Lasern hoher Leistung. Dieses Netz nachzubauen erfordert Jahre und Milliarden, nicht eine einzige gelungene Konstruktion.

Washington vermutet einen Technologieabfluss

Das Gewicht dieser Geräte führt dazu, dass jede Information über einen möglichen Technologietransfer eine politische Reaktion auslöst. Die amerikanische Seite soll mit dem Vorwurf aufgetreten sein, dass eine fortschrittliche EUV-Maschine nach China gelangt sei. Zuvor wurden Zeiss und Trumpf als jene genannt, die einzigartige Komponenten bauen. Das zeigt, wie eng der Flaschenhals der gesamten Kette ist.

Europas Problem ist das umgekehrte

Frank Heemskerk, bei ASML für öffentliche Angelegenheiten zuständig, vertrat in der niederländischen Debatte eine für Europa unbequeme These: Das Unternehmen verkaufe in Europa praktisch nichts, weil es hier keine Fabriken gebe, die seine Maschinen kauften. Die Nachfrage konzentriert sich auf die Vereinigten Staaten und Asien. Heemskerk räumte ein, dass die Maschinen in den USA und in China begehrt sind. Zugleich appellierte er an Brüssel, die Marktmacht zu nutzen, die Europa durchaus hat.

Das kehrt das übliche Verständnis technologischer Souveränität um. Die Union besitzt ein einzigartiges Werkzeug für die Chipproduktion, aber keinen Abnehmer dafür. Die Exportkontrolle wirkt daher als Hebel gegenüber anderen und zugleich als Linse, die zeigt, was in Europa fehlt. Für Polen, das einen Platz in der europäischen Halbleiterkette anstrebt, ist die Schlussfolgerung wenig romantisch: Ohne eigene Nachfrage nach fortschrittlicher Produktion bleibt die polnische Präsenz in diesem Sektor die Rolle eines Dienstleisters, nicht eines Technologieträgers.

Das Ausmaß der Präzision erklärt, warum der Export einer einzigen Maschine zur Staatssache geworden ist. EUV wird ab der Generation von 5 Nanometern und darunter gebraucht. China hat derzeit nur Zugang zu älteren Lithografietechnologien. Die Versuche, eine eigene Kette aufzubauen, die SMIC und Huawei unternehmen, sind teuer und langwierig. Im Hintergrund bleibt der Vorwurf, dass eine moderne EUV-Maschine trotz der Sanktionen nach China gelangt sei. Die amerikanische Seite soll darüber öffentlich informiert haben.

Für Europa ist das Problem ein doppeltes: Die Schlüsseltechnologie entsteht auf seinem Territorium, wird aber fast ausschließlich außerhalb davon verkauft. Die Entscheidungen darüber, wer sie kaufen darf, fallen weitgehend in Washington. Das zeigt, dass technologische Souveränität nicht darin besteht, eine Fabrik zu besitzen. Es zählt auch die Möglichkeit, über ihre Kunden zu entscheiden.